臭氧為強氧化劑，對多種物品有損壞，濃度越高對物品損害越重，可使銅片出現綠色銹斑、橡膠老化，變色，彈性降低，以致變脆、斷裂，使織物漂白褪色等。

  臭氧具有很強的氧化性，除了金和鉑外，臭氧氣體幾乎對所有的金屬都有氧化和腐蝕作用，而在水中的腐蝕更快。鐵、鋁、鋅、鉛與臭氧接觸會被強烈氧化，但含鉻鐵合金基本上不受臭氧腐蝕。生產上常使用含25%Cr的不銹鋼來制造臭氧發生設備以及和臭氧直接接觸的部分。

  臭氧對非金屬材料也有了強烈的腐蝕作用，如PVC（聚氯乙烯），很容易被氧化到松脆不可口，變得疏松、開裂和穿孔。在臭氧發生器的工藝應用中，包括臭氧發生器生產、計量、混合、輸送，以及作用現場的器具物品，都不能用普通橡膠作密封材料，必須采用耐腐蝕能力強的硅橡膠或抗氧化材料。

  在臭氧發生器的實際應用中，臭氧會對中央空調送風管道、傳送帶、水泵、電磁閥、橡膠類密封墊圈、玻璃鋼罐、304以下不銹鋼、鑄鐵類機械、塑料制品等有程度不通的腐蝕作用。有些金屬會和臭氧反應，在表面形成一層致密的氧化膜，可以阻礙進一步氧化。